石英ガラス 資料
石英ガラスには天然水晶を溶融した透明石英ガラスと良質の珪石を溶融した不透明石英ガラス、そして高純度の四塩化珪素を原料として合成石英ガラスと原料視点で３つのグループに分けることができます。
このグループをさらに製造方法別に分けると原料の溶融方法により酸水素溶融石英と電気溶融石英に分けることができます。一言で石英ガラスと言っても、原料や製造方法により用途は異なります。
材料選定の際は各材料の代表的な特性をご確認の上、ご検討をお願い致します。
製造方法
材料使用分布
石英ガラスの主な特徴
半導体素子に対して 非常に高い純度
石英ガラスは、非常に高い純度を持っています。
高集積化が進み、ごく微量の不純物も許されない半導体製造プロセスにおいても、純度の高い石英ガラスが反応管として用いられています。
優れた耐熱性と極めて低い熱膨張係数
石英ガラスは、優れた耐熱性と、極めて低い熱膨張係数を併せ持っています。
半導体製造時の熱処理プロセスといった高温を使用する際も、石英ガラスが炉芯管やボートといった耐熱形状安定性の高い部材として用いられています。
紫外から赤外の全波長にわたり、高い光透過率
透明石英ガラスは、一般のガラスと比べて光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があります。
露光装置用のレンズ素材や、光ファイバー素材、ランプ用材料と、利用方法は多岐に渡り、特に、短波長の紫外領域では、どのようなガラスよりも良好な透過性を示します。
石英ガラスの純度
| Al | Fe | Na | K | Cu | Ca | Li | Mg | OH | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 酸水素溶融品（標準） | 8 | 0.3 | 0.8 | 0.8 | 0.02 | 0.3 | 200 | ||
| 酸水素溶融品（高純度低アルカリ） | 8 | 0.3 | 0.05 | 0.05 | 0.01 | 0.03 | 200 | ||
| 電気溶融品（標準） | 8 | 0.5 | 1 | 1 | 0.02 | 0.3 | 1 | ||
| 電気溶融品（高純度低アルカリ） | 8 | 0.2 | 0.05 | 0.05 | 0.01 | 0.3 | 1 | ||
| 合成石英 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.01 | 0.03 | 0.8 | ||
| 高純度不透明石英 | 8 | 0.05 | 0.06 | 0.02 | 0.01 | 0.5 | 0.01 | 0.02 | 160 |
単位：ppm
熱的特性
| 歪点 | 徐冷点 | 軟化点 | |
|---|---|---|---|
| 酸水素溶融石英 | 1090 | 1190 | 1660 |
| 電気溶融石英 | 1130 | 1220 | 1670 |
| 不透明石英 | 1090 | 1190 | 1660 |
単位：℃
| 熱膨張係数 | 5×10-7/℃ |
|---|---|
| 比熱 | 890～1140J/kg・K |
| 熱伝導率（20℃） | 1.5W/m・K |
単位：℃
機械的特性
| 密度 | g/cm3 | 2.2 |
|---|---|---|
| 硬度 | モース | 6 |
| ヤング率 | GPa | 72 |
| 剛性率 | GPa | 31 |
| ポアゾン比 | 0.17 | |
| 曲げ強度 | MPa | 105 |
| 引張り強度 | MPa | 48 |
単位：℃
お気軽にお問い合わせください。
お客様の声を大切に、製販一体となったサポート体制を取っております。
京都・大阪・名古屋・福山・金沢・久留米・横浜に拠点を持ち担当者が豊富な知識で対応させて頂きます。
お問い合わせ先
英興株式会社 京都営業部 （電話受付時間 平日9:00～18:00）
TEL075-621-2301
FAX075-612-0812
